簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="低掠角繞射法"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢： 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務 ：

    我的檢索策略

  • 排序：

      
    • 儲存 列印 E-mail 收藏

    已勾選0筆資料

      本頁全選

    1
    應用GIXRD量測薄膜殘留應力 與化學機械拋光的影響分析
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生： 陳孟科   指導教授： 陳炤彰
    • 半導體元件是由數層不同的厚度且材質互異的薄膜所構成，鎢薄膜做為柱塞(Plug)的用途，化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導體製程中全面平坦化(G…
    • 點閱：233  下載：9 
    1